Berendezések

Mintakészítés

  • Magnetrons porlasztás
  • Atomiréteg leválasztás (ALD, PEALD)
  • Vákuumpárologtatás

Felületanalitika, Mélységi Profilírozás

  • Röntgen fotoelektronspektroszkópia (XPS)
  • Alacsony Energiás Ionszórás (LEIS)
  • Másodlagos Neutrális Rész Tömegspektrometria (SNMS)

Elektronmikroszkóp Laboratórium

  • Pásztázó Elektronmikroszkóp (SEM)
  • Transzmissziós Elektronmikroszkóp (TEM)

 

Az anyagtudományi laboratóriumot az MTA-ATOMKI-val közösen hoztuk létre és közesen üzemeltetjük.